產(chǎn)品中心




產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀,XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)
產(chǎn)品分類
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀
檢測(cè)對(duì)象
檢測(cè)濃度
檢測(cè)原理
采樣方式
應(yīng)用行業(yè)
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品描述:半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)
可檢測(cè)微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏,可對(duì)半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場(chǎng)所進(jìn)行泄漏檢測(cè),
也可對(duì)氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)
· 搭載的泵有自動(dòng)停止功能
· 搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
· 保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時(shí)
02.產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
03.產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | XP-703DⅢ | ||||
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(砷烷、磷化-氫、乙硼-烷、硅烷、氫氣) | ||||
| 檢測(cè)原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 | ||||
| 采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 | ||||
| 砷烷 | 磷化-氫 | 乙硼-烷 | 硅烷 | 氫氣 | |
| AsH? | PH? | B?H? | SiH? | H? | |
| 可檢測(cè)泄漏量 [Pa·m3/s] | 2.53x10?? | 1.52x10?? | 1.01x10?? | 2.53x10?? | 5.07x10?? |
| 可檢測(cè)濃度 [μmol/mol] | 0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.5 | 0.1 |
| 反應(yīng)時(shí)間 | 10秒以內(nèi)(探測(cè)的氣體為可檢測(cè)濃度的3倍時(shí),靈敏度設(shè)定為[4]) | ||||
| 報(bào)警方式 | 發(fā)出斷斷續(xù)續(xù)的聲音及報(bào)警燈閃爍 | ||||
| 電源 | 5號(hào)堿性干電池(LR6)2節(jié) | ||||
| 連續(xù)使用時(shí)間※1 | 約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池)[在常溫·常濕條件下] | ||||
| 保護(hù)等級(jí)※2 | IP22 相當(dāng)※3 | ||||
| 使用壓力范圍 | 大氣壓(800~1100hpa) | ||||
| 使用溫濕度范圍 | 0C~40℃、85%RH以下(無(wú)結(jié)露現(xiàn)象) | ||||
| 外形尺寸 | W38xH130xD32mm(突出部分除外) | ||||
| 重量 | 約190g(包含電池、皮套) | ||||
| 標(biāo)配附件 | 皮套、引導(dǎo)管過(guò)濾片、替換用過(guò)濾芯、導(dǎo)氣管、點(diǎn)檢氣體、手提掛繩、5號(hào)堿性干電池2節(jié)等 | ||||
※1. 根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠家,有時(shí)會(huì)有不同。
※2. 安裝皮套時(shí)。
※3. IP22相當(dāng)是指機(jī)器內(nèi)部危險(xiǎn)場(chǎng)所附近所對(duì)應(yīng)的保護(hù)構(gòu)造(IP2X)、與垂直方向呈15°范圍內(nèi)掉落的水滴不會(huì)引起機(jī)器內(nèi)部異常的防浸水構(gòu)造(IPX2)。




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